TM4000plus





TM4000Plus
・倍率×10〜×100,000(写真倍率)
 ×25〜×250,000(モニター倍率)
・加速電圧5 kV、10 kV、15 kV
・画像信号反射電子、二次電子
 合成(反射電子+二次電子)反射電子
・真空モード導電体(反射電子のみ)、標準、帯電軽減
・画像モード(反射電子)通常、影付1、影付2、凹凸
・試料可動範囲X:40 mm Y:35 mm
・最大試料サイズ80 mm(径) 50 mm(厚さ)
・電子銃プリセンタードカートリッジタイプ
 タングステンヘアピンフィラメント
・検出器
   反射電子:高感度4分割 反射電子検出器
   二次電子:高感度低真空 二次電子検出器
・自動画像調整機能オートスタート、オートフォーカス、オート輝度
・保存画像サイズ2,560×1,920 画素、1,280×960 画素、640×480 画素
・ファイル形式BMP、TIFF、JPEG
・データ表示ミクロンマーカー、ミクロン値、倍率、日付、時刻、
 画像No.WD、コメント、加速電圧、真空モード、画像モード、画像信号
・排気系 (真空ポンプ)ターボ分子ポンプ:67 L/s 1台
      ダイアフラムポンプ:20 L/min
・操作補助機能ラスターローテーション
・イメージシフト(±50 ?m @ WD6.0 mm)
・保護機能過電流保護機能付、漏電遮断機内蔵
・大きさ・質量本体:330(幅)×614(奥行)×547(高さ) mm、52 kg(モータードライブステージ付)
・本体:330(幅)×617(奥行)×547(高さ) mm、52 kg(マニュアルステージ付)
・ダイアフラムポンプ:144(幅)×270(奥行)×216(高さ) mm



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