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日立ハイテクノロジーズ

TM4000plus

卓上サイズでありながら、100,000倍の拡大率を誇るSEM方式の顕微鏡です。
先ずは、前処理なしで迅速観察。オプションで元素分析(EDS)もOK。

メーカーウェブサイト
仕様
  • ・倍率×10～×100,000(写真倍率)
  • 　×25～×250,000(モニター倍率)
  • ・加速電圧5kV、10kV、15kV
  • ・画像信号反射電子、二次電子
  • 　合成(反射電子＋二次電子)反射電子
  • ・真空モード導電体(反射電子のみ)、標準、帯電軽減
  • ・画像モード(反射電子)通常、影付1、影付2、凹凸
  • ・試料可動範囲X:40mm Y:35mm
  • ・最大試料サイズ80mm(径)50mm(厚さ)
  • ・電子銃プリセンタードカートリッジタイプ
  • 　タングステンヘアピンフィラメント
  • ・検出器
  • 　反射電子:高感度4分割 反射電子検出器
  • 　二次電子：高感度低真空 二次電子検出器
  • ・自動画像調整機能オートスタート、オートフォーカス、オート輝度
  • ・保存画像サイズ2,560×1,920画素、1,280×960画素、640×480画素
  • ・ファイル形式BMP、TIFF、JPEG
  • ・データ表示ミクロンマーカー、ミクロン値、倍率、日付、時刻、
  • 　画像No.WD、コメント、加速電圧、真空モード、画像モード、画像信号
  • ・排気系 (真空ポンプ) ターボ分子ポンプ:67L/s 1台
  • 　ダイアフラムポンプ:20L/min
  • ・操作補助機能ラスターローテーション
  • ・イメージシフト (±50?m@WD6.0mm)
  • ・保護機能過電流保護機能付、漏電遮断機内蔵
  • ・大きさ
  • 　質量本体:330(幅)×614(奥行)×547(高さ)mm、52kg(モータードライブステージ付)
  • 　本体:330(幅)×617(奥行)×547(高さ)mm、52kg(マニュアルステージ付)
  • ・ダイアフラムポンプ:144(幅)×270(奥行)×216(高さ) mm
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